在旋片式真空泵工作時(shí)，油蒸氣會(huì)逆著氣流運(yùn)行方向進(jìn)入旋片式真空泵口，通過(guò)入口管路最終進(jìn)入被抽容器。油蒸氣的返流童隨壓力的降低而增加，在極限壓力附近時(shí)，返流雖最大。返流油蒸氣主要由泵油中最輕餾分組成。

油的返流會(huì)污染真空室.影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量，必須加以控制。防止油返流的措施主要如下。

①在旋片泵泵入口管路上設(shè)置放氣閥。使入口壓力維持在10Pa或更高。這樣可以減小返流98%.

②對(duì)干單級(jí)泵.在泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥就能很好地防止油的返流。

③在泵入口設(shè)置吸附阱，依靠吸附劑吸附返流蒸氣。粒狀活性氧化鋁可以吸附99%的返流油熱氣。這種吸附阱需定期更換吸附劑，以防吸附材料因吸氣能力達(dá)到飽和而失效。

④使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很小，但由于價(jià)格較貴，因此影響到它們的廣泛使用。