電真空器件中排氣臺對真空系統(tǒng)的要求

電真空器件的排氣是在排氣臺上進(jìn)行的。對于微波管的排氣臺來說，根據(jù)烘箱的種類可以分為普通排氣臺(單真空排氣臺)和雙真空排氣臺;根據(jù)所能達(dá)到的真空度也可以分為高真空排氣臺和超高真空排氣臺。不論哪種排氣臺，一般都應(yīng)該包括真空抽氣系統(tǒng)、真空測量裝置、加熱去氣設(shè)備、電源及控制機(jī)構(gòu)等部分。

真空系統(tǒng)是排氣臺的核心部分，器件內(nèi)部的空氣依賴真空系統(tǒng)抽走并達(dá)到一定真空度。真空系統(tǒng)由真空泵、連接管道、真空閥門以及輔助裝置等組成。

對真空系統(tǒng)的要求

對真空系統(tǒng)的一般要求是:

(1)真空度要求。對真空系統(tǒng)最基本的要求就是能達(dá)到所需要的真空度，包括系統(tǒng)本身的極限真空度和被抽器件所能達(dá)到的真空度。一般來說，器件內(nèi)部能達(dá)到的真空度低于系統(tǒng)的極限真空度，所以選擇排氣臺真空系統(tǒng)時，應(yīng)該保證系統(tǒng)的極限真空度比器件所要求的真空度高。

系統(tǒng)的極限真空主要取決于真空泵的極限真空度，真空系統(tǒng)的密封性和去氣的徹底性。

(2)系統(tǒng)應(yīng)該具有所需要的抽氣速率。抽速的大小決定了器件排氣的時間，提高抽速就可以縮短排氣時間，提高勞動生產(chǎn)率。金屬結(jié)構(gòu)的微波管在排氣中會放出大量氣體，也必須有足夠的抽速及時把零件放出的氣體排走，減少其他零件再次吸附氣體和引起陰極中毒的可能。但是，抽速應(yīng)與被抽器件的容積相適應(yīng)，過大的抽速會增加設(shè)備成本以及水、電等消耗，相應(yīng)增加器件的成本，造成浪費。

系統(tǒng)的抽速不僅取決于真空泵的抽速，還與系統(tǒng)的連接管道以及真空閥門等零件的導(dǎo)通能力有關(guān)。

(3)真空系統(tǒng)應(yīng)該結(jié)構(gòu)簡單、可靠，盡可能操作維護(hù)方便，希望噪聲低、無污染、成本低。

為了滿足上述要求，必須根據(jù)器件的大小、復(fù)雜程度、所用材料等實際情況，綜合考慮各方面的因素，合理選擇真空泵、真空計、真空閥門、真空管道以及其他裝置。