近年來真空技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域日趨廣泛，已擴(kuò)展到整個(gè)工業(yè)。而在以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝中，迫切要求無油污染的

清潔真空。因被抽氣體往往含有腐蝕性蒸汽及磨損粒子，油封泵對(duì)此是無能為力的。因而近年來某些國(guó)家相繼研制出工作在大氣

壓到0.1pa區(qū)域內(nèi)的干式真空泵，以滿足干式工藝的要求。

干式真空泵有非接觸型的羅茨式、爪式、螺桿式、接觸型的葉片式、凸輪式、活塞式等。非接觸型可以高速旋轉(zhuǎn)，但最大壓縮比

小。接觸型的轉(zhuǎn)速不能太高，但最大壓縮比大。尤其在大氣壓附近，因逆流量變大使后者的壓縮比為前者5-8倍。另外，干式真空

泵的轉(zhuǎn)速越高，其壓縮比越大，所以干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min .

從使用壽命、所能達(dá)到的壓縮比、轉(zhuǎn)速及動(dòng)平衡性等方面考慮，采用多級(jí)爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)或羅茨轉(zhuǎn)子與多級(jí)爪型轉(zhuǎn)子串聯(lián)組合成干

式真空泵。

這種泵采用了形狀復(fù)雜的爪型轉(zhuǎn)子，它也類似羅茨泵型式，兩個(gè)轉(zhuǎn)子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，吸氣口和排氣口分別固定

在兩側(cè)端蓋的側(cè)面上，有轉(zhuǎn)子在旋轉(zhuǎn)過程中自動(dòng)開閉。目前有兩種結(jié)構(gòu)型式，一種是三級(jí)爪型轉(zhuǎn)子加一級(jí)羅茨型轉(zhuǎn)子構(gòu)成的多級(jí)

泵，另一種是四級(jí)爪型轉(zhuǎn)子串聯(lián)構(gòu)成的多級(jí)泵。

由于爪式泵沿軸向逆流少，故壓縮比在高壓區(qū)較高。

這種泵的吸、排氣口設(shè)置在泵腔的端壁上，多級(jí)連接很方便，氣道流暢，泵內(nèi)腔壓力變換平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結(jié)。

為了防止可凝性氣體在泵內(nèi)凝結(jié)，也要向泵腔內(nèi)通凈化氣體?，F(xiàn)在的爪式泵極限壓力為1-10pa，抽速為100-180m3/h，有系列產(chǎn)

品出售。爪式泵也有單級(jí)、多級(jí)泵出售。